一种多晶硅硅棒运输装置

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一种多晶硅硅棒运输装置
申请号:CN202421465991
申请日期:2024-06-25
公开号:CN222860547U
公开日期:2025-05-13
类型:实用新型专利
摘要
本实用新型涉及多晶硅技术领域,具体涉及一种多晶硅硅棒运输装置。所述的装置包括:还原炉硅棒运输装置1、硅棒切段上料装置2、加热运输装置3、冷却运输装置4、上料带5和破碎机6;所述的硅棒切段上料装置2设置于还原炉硅棒运输装置1的一端,加热运输装置3设置在硅棒切段上料装置2的另一端,加热运输装置3的另一端设置冷却运输装置4,冷却运输装置4的另一端设置上料带5,上料带5的另一端设置破碎机6。本实用新型的优点:流程连续;安全;有效提升硅棒质量。
技术关键词
多晶硅硅棒 冷却运输装置 硅棒运输装置 冷却水箱 还原炉 送料机械手 破碎机 伸缩挡板 多晶硅技术 底衬 机械臂 超声波发生器 旋转机械 工位 超纯水 加热炉
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