摘要
本实用新型提供一种换片设备及包含其的显微观测系统,换片设备包括有转盘、观测平台和转移模块,转盘可绕转盘的轴心在水平面内旋转,在转盘的上表面设置有若干第一固定卡槽,若干第一固定卡槽以轴心为中心圆周布置,第一固定卡槽用于容纳芯片;观测平台上设置有沿竖直方向贯通观测平台的第二固定卡槽,观测平台相对转盘的位置被设置为使得第二固定卡槽位于其中一个第一固定卡槽的上方;转移模块设置于第二固定卡槽中,转移模块能够在第一状态和第二状态之间进行切换,当转移模块处于第一状态时,转移模块将芯片从下方的第一固定卡槽上移至第二固定卡槽,当转移模块处于第二状态时,芯片从第二固定卡槽回落至下方的第一固定卡槽。
技术关键词
显微观测系统
电磁铁
卡槽
芯片
模块
平台
尺寸
物镜
轴心
定义
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