一种用于硅基芯片刻蚀设备的平面电极处理装置

本申请公开了一种用于硅基芯片刻蚀设备的平面电极处理装置，涉及电极加工领域，包括箱体，箱体的后侧固定安装有风箱，风箱的顶部设置有顶板，箱体的内部固定安装有操作板，风箱的内部设置有清尘机构，箱体的内部设置有移动夹持机构，顶板的底部设置有打孔机构，通过启动抽风机，将外部的空气通过风箱，吹进箱体的内部，再通过出风槽进行吹出，用于对打孔时产生的碎屑进行清理，避免碎屑被人体吸入，导致肺组织损伤，长期暴露可能引发慢性肺病，通过启动移动组件，用于对钻头进行移动，用于对多个电极片进行打孔，通过启动夹持组件，带动夹持块对电极片进行夹持，避免在打孔时，电极片进行位移，有效提升了准确度。