一种光学芯片的蚀刻装置

本实用新型涉及芯片刻蚀技术领域，且公开了一种光学芯片的蚀刻装置，包括底座，底座的顶部固定连接有储液箱，底座顶部的两端均固定连接有气缸，气缸的输出端固定连接有顶座，顶座上设置有刻蚀机构，刻蚀机构包括贯穿顶座的空心轴，空心轴与顶座转动连接，空心轴的底部固定连接有盖板，盖板的底端设置有刻蚀箱，盖板的两端均固定连接有卡块，刻蚀箱的两端均设置有定位件，刻蚀箱的侧壁上开设有若干通孔，盖板的底部设置有喷气件，顶座顶部的一端设置有驱动件，顶座顶部的另一端设置有供气件。本实用新型通过喷气件向芯片喷射气体，这就使得芯片上附着力强的腐蚀材料被高压气体冲刷掉，从而保证芯片表面附着的腐蚀材料全部清除。