一种真空锁定保护系统

本实用新型提供了一种真空锁定保护系统，包括：控制器，控制器用于进气；流量调节组件，流量调节组件设有第一进气端和第一出气端，第一进气端连接控制器的出气端，且流量调节组件内设有多个限流量不同的流通管路；真空腔，真空腔的进气端和第一出气端连接；分子泵，分子泵的抽气端和真空腔的出气端连接；控制芯片，控制芯片连接控制器、流量调节组件、真空腔和分子泵；其中，控制芯片根据流经控制器的气体信息和真空腔的真空度信息控制流通管路的通断状态和分子泵的启停状态。本实用新型解决传统的分子泵抽真空系统无法实现对进气量的精确调节，当进气的气体流量较大时可能导致流量不稳定或过度消耗资源，造成不必要的能量损失的技术问题。