摘要
本申请提供一种微机电振镜,包括:反射镜;振镜芯片,包括与所述反射镜间隔地设置的扭转支撑结构及连接于所述扭转支撑结构与所述反射镜之间的加强连接件,所述加强连接件于所述扭转支撑结构和所述反射镜之间形成有隔热通道,所述扭转支撑结构上设有驱动线圈;固定框架,通过转轴梁结构与所述扭转支撑结构连接;其中,所述反射镜和所述振镜芯片的质心在同一轴线上,所述驱动线圈通电后在磁场中受到电磁力,驱动所述扭转支撑结构带动所述反射镜绕所述转轴梁结构转动。
技术关键词
扭转支撑结构
反射镜
微机电振镜
梁结构
磁性组件
线圈
限位组件
漆包线绕制
芯片
镜面
基底
反射膜
框架
网格状
隔热
通道
电镀
尺寸
磁铁
系统为您推荐了相关专利信息
光纤耦合器
光谱仪
光纤耦合模块
聚焦透镜
准直透镜
光谱传感器
照度可调
光学系统
神经网络模型
成像单元
横向剪切干涉
双折射晶体
定量相位成像
波前检测系统
求解线性方程组