微机电振镜

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微机电振镜
申请号:CN202421556760
申请日期:2024-07-02
公开号:CN222672049U
公开日期:2025-03-25
类型:实用新型专利
摘要
本申请提供一种微机电振镜,包括:反射镜;振镜芯片,包括与所述反射镜间隔地设置的扭转支撑结构及连接于所述扭转支撑结构与所述反射镜之间的加强连接件,所述加强连接件于所述扭转支撑结构和所述反射镜之间形成有隔热通道,所述扭转支撑结构上设有驱动线圈;固定框架,通过转轴梁结构与所述扭转支撑结构连接;其中,所述反射镜和所述振镜芯片的质心在同一轴线上,所述驱动线圈通电后在磁场中受到电磁力,驱动所述扭转支撑结构带动所述反射镜绕所述转轴梁结构转动。
技术关键词
扭转支撑结构 反射镜 微机电振镜 梁结构 磁性组件 线圈 限位组件 漆包线绕制 芯片 镜面 基底 反射膜 框架 网格状 隔热 通道 电镀 尺寸 磁铁
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