基于正交偏振双折射晶体的横向剪切干涉波前检测系统及方法

本发明属于光学检测技术领域，具体涉及光学波前检测领域，尤其涉及一种基于正交偏振双折射晶体的横向剪切干涉波前检测系统及方法。系统包括激光光源，所述激光光源出射光路上依次设置的起偏器，分光棱镜；偏振双折射晶体、反射镜和偏振相机。所述方法包括：对四个相移干涉图进行处理，利用反正切函数可提取出波前梯度；采用基于最小二乘法的积分算法，求解线性方程组确定波前的相位分布；基于提取的波前梯度，利用相位恢复算法进行定量相位成像。本发明结构简单，稳定性高，光能利用率高；实时性好，精度高，可有效抑制噪声影响，提高波前测量的精度，可满足高精度光学系统检测的需求，适用范围广。