基于最小二乘法的非接触式晶圆圆心校准机构及控制方法

本发明公开基于最小二乘法的非接触式晶圆圆心校准机构及控制方法，包括底座支撑机构，用于安装各组件；移动模组，由移动伺服电机驱动，配置为在直线方向上进行位移调整；吸盘，设置于底座支撑机构上，通过真空吸附固定晶圆；旋转DD电机，与吸盘连接，配置为带动晶圆进行360°旋转；升降气缸，配置为将晶圆托起或放下；CCD激光传感器，设置于晶圆圆周的检测位置，配置为以0.1°间隔采集晶圆圆周的距离数据；PLC控制器。本发明的有益效果是：高精度与高效率：非接触式CCD激光传感器结合0.1°高分辨率数据采集，避免机械接触导致的晶圆损伤或污染。