一种用于芯片检测的均匀光源系统

本实用新型公开了一种用于芯片检测的均匀光源系统，包括：均匀光发生装置和功率检测装置，其中，所述均匀光发生装置包括：光源，用于提供恒定光源；光纤，两端分别连接所述光源和积分球，用于将所述恒定光源传输至积分球；积分球，内部为球形中空结构，用于对恒定光源进行内部匀化得到均匀光；光筒，通过转接口与所述积分球连接，用于对所述均匀光进行准直得到面光源；所述功率检测装置包括：功率计，与所述积分球连接，用于实时检测所述积分球内部的均匀光的功率；以及转接板，所述转接板与所述功率计固定连接，用于将所述均匀光的功率实时传输至上位机。