摘要
本实用新型涉及半导体生产设备技术领域,公开了IGBT模块无功测试上下料设备,它包括流水线、工业机械臂以及不良品输送机构,工业机械臂与不良品输送机构分别安装在流水线的两侧,不良品输送机构包括带式输送机、承载台以及直线滑台,带式输送机为若干且沿竖直方向分布,承载台通过直线滑台进行升降,承载台上滑动安装有U型的接料臂,承载台上还固定有气缸,气缸用于驱动接料臂运动。本实用新型的有益效果是:带有IGBT模块的托盘上线后,通过工业机械臂抓取IGBT模块进行测试,测试后的不良品通过工业机械臂放置在接料臂上,接料臂再根据不良品的具体不良项,分放至不同的带式输送机上后送至对应的维修工站进行维修,提高了工作效率,降低了人工成本。
技术关键词
工业机械臂
IGBT模块
带式输送机
流水线
直线滑台
不良品
承载台
油缸
输送托盘
活塞杆
进料
机架
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测试设备
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