摘要
本实用新型提供一种芯片三温测试机及测试系统,涉及芯片检测技术领域。该芯片三温测试机包括测试模组、预热模组和转运模组,测试模组具有若干个测试工位,测试工位用于放置芯片;其中,测试模组能够测试位于测试工位的所述芯片;预热模组具有多个预热工位,预热工位用于放置芯片;其中,预热工位的数量大于测试工位;预热模组能够调节位于预热工位的芯片的温度;转运模组安装于所述测试腔内,转运模组被配置为能够转运芯片,以使芯片至少能够在测试工位和预热工位之间切换。本实用新型提供的芯片三温测试机能够节省制冷和制热的时间,简化工艺流程,进而提高测试效率。
技术关键词
预热模组
测试机
测试模组
芯片
工位
检测传感器
压头
湿度调节
测试柜
导热
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真空吸嘴
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