一种固晶装置

本申请提供了一种固晶装置，包括基板供料机构、芯片供料机构及固晶机构。基板供料机构用于承载基板以及控制基板移动，使得基板上的待固晶区域移动至固晶工位处。芯片供料机构用于承载存放有芯片的蓝膜，以及控制蓝膜移动，使得蓝膜上的待拾取芯片移动至取晶工位，芯片供料机构的承载面与基板供料机构的承载面之间形成大于90°且小于180°的第一夹角。固晶机构包括旋转部及至少两个固晶组件，旋转部带动固晶组件步进旋转，以使得各固晶组件依次旋转至取晶工位及固晶工位。本申请的固晶装置包括至少两个固晶组件，固晶组件在旋转部的旋转驱动下循环地从芯片供料机构上拾取芯片，并将芯片固定至位于基板供料机构上的基板上，提高了固晶效率。