摘要
本实用新型提供一种拉链式的信号屏蔽版图结构,包括分别接地且位于同一金属层的第一金属线、第二金属线,位于第一金属线、第二金属线之间的模拟信号线,连接在第一金属线、第二金属线、模拟信号线上方的上层金属层,连接在第一金属线、第二金属线、模拟信号线下方的硅层,设置在上层金属层、第一金属线之间,上层金属层、第二金属线之间的通孔和设置在第一金属线、硅层之间,第二金属线、硅层之间的接触孔。本发明通过上层金属层、硅层、通孔、接触孔与第一金属线、第二金属线、模拟信号线形成拉链式信号屏蔽版图结构,减少衬底sub对信号线的干扰,也减少金属线对信号线的干扰,提高电路性能,使实际生产出来的芯片性能和仿真出来的性能更加吻合。
技术关键词
金属线
版图结构
拉链
接触孔
信号线
通孔
间距
电源
衬底
芯片
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