探针测试组件及测试装置

本实用新型公开了一种探针测试组件及测试装置，涉及芯片测试技术领域，探针测试组件包括壳体、压电部件、绝缘件和探针，压电部件的一端活动连接壳体，绝缘件的一端连接压电部件的另一端。探针连接绝缘件的另一端，探针在抵压芯片时能够通过芯片的反作用力驱使压电部件形变以产生压电效应，可以将力传导应变件连接一转换器，该转换器可将力传导应变件产生的压电效应转换成电参数，以供工作人员参考。工作人员可根据电参数适应性地控制探针的移动，以使探针对芯片施加合适的作用力。相较于现有技术，本实用新型的探针装置能够精准地调节探针对芯片的下压力，提高芯片测试时的稳定性。