一种自动芯片检测装置

本实用新型公开了一种自动芯片检测装置，涉及芯片测试技术领域，包括承载部、气密性测试模组、驱动模组以及数字显微镜，其中，所述气密性测试模组安装在承载部的上部，所述芯片固定在气密性测试模组的内部，所述驱动模组安装在承载部的正面，所述驱动模组能够向芯片施加力矩和压力，所述数字显微镜安装在承载部的上部，所述数字显微镜能够在芯片测试过程中观察芯片的变化。该自动芯片检测装置，通过所设置的气密性测试模组和驱动模组，驱动模组能够在给予芯片预设值的力矩和压力的条件下，来检测芯片的气密性，并且配合数字显微镜来观察在上述条件下，芯片的细微变化，以此来检测芯片是否符合要求，是一种全新的芯片检测装置。