一种晶圆传输系统

本实用新型提供了一种晶圆传输系统，其晶圆装载机构设置在机台框架的容纳空间内，晶圆装载机构至少兼容第一装载机构和第二装载机构，第一装载机构和第二装载机构分别与第一晶圆和第二晶圆适配；在需要传输第一晶圆时，该晶圆传输系统对应安装第一装载机构，当需要传输第二晶圆时，该晶圆传输系统对应安装第二装载机构，以使该传输系统能够对洁净度要求不同的第一晶圆与第二晶圆进行传输。晶圆传输机构具有行走轴机构和机械臂，机械臂能够将晶圆置于晶圆装载机构或从晶圆装载机构将晶圆取出；通风过滤机构设置在机台框架上，用于对进入机台框架的容纳空间内的空气过滤并将容纳空间内的空气排出，以提高容纳空间的洁净度，进而保证晶圆的洁净度。