上料装置

本申请涉及半导体生产设备技术领域，具体而言，涉及一种上料装置。上料装置，包括：第一传送机构，用于传送装有治具的料盒；第二传送机构，位于第一传送机构的一侧，用于传送治具；物料转移机构，包括推杆，推杆位于第一传送机构的远离第二传送机构的一侧，用于推动治具使其转移至第二传送机构；检测机构，包括相机和数据处理器，相机位于第二传送机构的上方，相机用于获取治具中的物料的图像信息，并将图像信息传输至数据处理器。根据上述方案，可以改善现有技术中上料装置出现物料异常不能及时发现的问题，避免不合格产品被动流入后段制程造成的治具和机器的损坏，减少返修成本和重工工时。