一种VCSEL芯片和激光雷达

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一种VCSEL芯片和激光雷达
申请号:CN202421844138
申请日期:2024-08-01
公开号:CN222868324U
公开日期:2025-05-13
类型:实用新型专利
摘要
本申请属于激光模组设计领域,公开了一种VCSEL芯片和激光雷达,包括:VCSEL芯片本体,被配置为受激辐射预定波长的激光;匀光结构,设置在所述VCSEL芯片本体的出光侧,所述匀光结构远离所述VCSEL芯片本体的一侧集成有微透镜阵列,所述激光透过所述匀光结构后形成光强分布均匀的激光束。其中,所述匀光结构的厚度与VCSEL芯片封装工艺中所述VCSEL芯片的出光面与光学元件之间的距离相同。本申请通过在VCSEL芯片顶部的匀光结构上直接集成微透镜阵列,使出射光束符合传统泛光光源的辐照度需求,降低了泛光光源的生产成本,提高了生产效率。
技术关键词
VCSEL芯片 匀光结构 芯片封装工艺 激光雷达 集成微透镜阵列 COB封装工艺 TO封装工艺 光学元件 生长衬底 发射组件 匀光透镜 激光模组 激光束 反射镜
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