摘要
本申请属于激光模组设计领域,公开了一种VCSEL芯片和激光雷达,包括:VCSEL芯片本体,被配置为受激辐射预定波长的激光;匀光结构,设置在所述VCSEL芯片本体的出光侧,所述匀光结构远离所述VCSEL芯片本体的一侧集成有微透镜阵列,所述激光透过所述匀光结构后形成光强分布均匀的激光束。其中,所述匀光结构的厚度与VCSEL芯片封装工艺中所述VCSEL芯片的出光面与光学元件之间的距离相同。本申请通过在VCSEL芯片顶部的匀光结构上直接集成微透镜阵列,使出射光束符合传统泛光光源的辐照度需求,降低了泛光光源的生产成本,提高了生产效率。
技术关键词
VCSEL芯片
匀光结构
芯片封装工艺
激光雷达
集成微透镜阵列
COB封装工艺
TO封装工艺
光学元件
生长衬底
发射组件
匀光透镜
激光模组
激光束
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