一种集成杀菌装置

本申请属于半导体技术领域，公开了一种集成杀菌装置，包括：基板，其正面设置芯片阵列，芯片阵列包括多个相邻设置的芯片单元，每个芯片单元中包括多个芯片，相邻芯片单元间具有共用的边界；模组盖透镜区域，包括周边模组盖透镜区域和中心模组盖透镜区域，周边模组盖透镜区域设置在阵列的周边，中心模组盖透镜区域设置在芯片单元间共用的边界上，相邻的芯片单元之间共用中心模组盖透镜区域；透镜，覆盖在模组盖透镜区域上；散热部，包括冷却头和冷却水箱，冷却头设置在基板背面与阵列对应的位置上，冷却水箱与冷却头连通。通过共用毗邻芯片单元间的边界相对减少边界占用阵列的面积，相对集成更多的芯片来提高紫外光源的辐射功率。