一种半导电化合物半导体电阻率的测量装置

本实用新型公开了一种半导电化合物半导体电阻率的测量装置，该装置包括：四探针探头、电压测量电路、电流测量电路、可调节脉冲信号的电压值的消势垒电压发生电路、恒流源、单片机、用于设定脉冲宽度的人机交互设备；四探针探头的第一探针、第四探针连接电流测量，第二探针、第三探针连接电压测量电路；电流测量电路、电压测量电路分别与单片机连接，单片机分别与恒流源、人机交互设备连接，恒流源与四探针探头连接；单片机连接消势垒电压发生电路的输入端，消势垒电压发生电路在四探针探头的第二探针和第三探针之间输出正、反向极性的脉冲信号。本实用新型可消除探针与待测样片接触时形成的势垒，实现半导电半导体材料的电阻率分布式测量。