一种SRAM芯片中存储单元的位置检测系统和位置检测方法

本发明公开一种SRAM芯片中存储单元的位置检测系统和位置检测方法，涉及半导体技术领域。位置检测系统包括：电动位移台、光学激发模块、微波激发模块、雪崩光电探测器、信号分析装置和控制模块；电动位移台用于放置待检测SRAM芯片，光学激发模块包括激光器、二向色镜、物镜和光纤探针；光纤探针的尖端设置有包含NV色心的金刚石颗粒；光纤探针用于对待检测SRAM芯片进行逐点扫描；微波激发模块用于施加微波信号；控制模块用于写入预设频率的方波信号；雪崩光电探测器用于转换得到电压信号；信号分析装置分析电压信号以确定目标存储单元的位置。该系统解决了现有技术中SRAM芯片中存储单元的侵入式检测、位置检测精度低和位置检测效率低的问题。