一种硅光半导体高温老化测试设备

本实用新型公开了一种硅光半导体高温老化测试设备，涉及芯片老化测试技术领域，包括老化测试主机，温控主机，监控主机，还包括密封加热腔，老化测试主机顶部设置有若干个信号传输接口，信号传输接口上方还设置有接口转换板，接口转换板上设置有芯片测试接口，芯片测试接口一端与信号传输接口连接，一端用于接入待测芯片，老化测试主机内部至少设置有电源、控制板和与芯片拔插座连接的检测板；密封加热腔固定连接在老化测试主机顶部，密封加热腔内设置有加热装置和温度传感器，密封加热腔顶部设置有门体，温控主机与密封加热腔连接，监控主机与老化测试主机和温控主机连接。本实用新型，解决了高温环境下测试板工作性能低的问题。