一种新型多级Tray盘自动进出结构

本实用新型公开了一种新型多级Tray盘自动进出结构，本实用新型涉及半导体加工设备技术领域。该新型多级Tray盘自动进出结构，包括底座，所述底座一侧固定设置有支架，所述底座的顶部表面两侧均设置有移载轨道，所述底座的一端设置有供料组件，所述支架的顶部表面一侧设置有移送组件，并且所述移送组件一侧壁底部与两个所述移载轨道滑动相连；所述移送组件的上方一侧设置有移料组件，并且所述移料组件底部一侧与所述支架顶部表面相连，所述供料组件包括第一电动直线滑台，本实用新型可对装有芯片的tray盘快速且精确的移送到工作位，从而能够方便后续设备对芯片进行快速拿取，进而能够提高芯片加工的效率。