芯片加工用可调式光学生产检测模组

本实用新型涉及芯片生产设备技术领域，尤其是芯片加工用可调式光学生产检测模组，包括光学生产平台，以及用于产生满足表面等离子共振要求的入射光的光学系统，还包括一输送板，在输送板上设有多个用于固定芯片基材的料夹，在光学生产平台上设有一由上板体、下板体以及固定板组成的生产定位机构，所述上板体、下板体相对面上均开设有直线槽，两直线槽之间形成用于容纳输送板的容纳槽，还包括位于反射光路上的检测器，用于不断调整光学系统及检测器与芯片基材的相对位置，让光束入射到芯片基材基底中央的控制机构，以及控制器。可以让光束入射到芯片基材的基底中央，从而达到准确定位以确保生产质量的目的。