一种三阶运动芯片定位机构

本实用新型公开了一种三阶运动芯片定位机构，包括基板，所述基板的顶部内延其自身长度方向等距开设有载带槽，震动器，安装于所述基板的底部前侧，探针安装架，活动设置在所述基板的上方，探针组，安装于所述探针安装架上。本机构实现了高精度定位和多芯片同时检测，通过驱动机构设计，结合直线轴承和传动丝杆，可实现探针安装架的精确竖向运动，基板上设置的多组载带槽，配合精心设计的探针组，使得多个芯片可以同时进行检测，满足了大规模生产的需求，芯片保护板和芯片定位板的设计有效防止了检测过程中对芯片的意外损伤，互推强磁铁设计实现了探针组的浮动支撑，有效减少了外部震动对检测精度的影响，确保了高精度测量结果的可靠性。