晶圆打墨点装置

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晶圆打墨点装置
申请号:CN202422533584
申请日期:2024-10-21
公开号:CN223218271U
公开日期:2025-08-12
类型:实用新型专利
摘要
本实用新型涉及一种晶圆打墨点装置,包括:操作台,具有一水平台面;托盘,安装在水平台面上并用于容置一晶圆;两根刻度条,分别沿X轴和Y轴安装在水平台面上;打墨点组件,位于托盘的上方,打墨点组件包括第一指针、第二指针及墨笔,墨笔用于对晶圆上待标记的芯片打上墨点,第一指针与第二指针均为中间镂空结构以分别形成第一滑轨和第二滑轨,第一指针平行于X轴设置,第二指针平行于Y轴设置,第一指针与第二指针垂直相交,墨笔设置在第一指针与第二指针的交叉点处,第一指针能够沿Y轴移动并带动墨笔沿第二滑轨移动,第二指针能够沿X轴移动并带动墨笔沿第一滑轨移动。该晶圆打墨点装置结构简单,制作成本低,能够对芯片进行快速打墨点。
技术关键词
指针 水平台 圆台 齿轮齿条传动机构 托盘 刻度间距 交叉点 芯片 Y轴 操作台 标记 台面 步进电机 尺寸 顶端
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