一种LCOS芯片镀膜mask贴装装置

本实用新型涉及一种LCOS芯片镀膜mask贴装装置，包括：底座；mask支座，设于底座上端，mask支座用以放置mask并给mask提供支撑；夹取机构，夹取机构包括吸附组件和移动组件，移动组件驱动连接于吸附组件，用以驱动吸附组件沿靠近或远离mask的方向进行移动，吸附组件用以吸附基板；检测组件，设于底座上端，检测组件设有多组，多组检测组件均设于mask下方，用以检测基板和mask是否对齐。通过采用这种结构，实现了基板与mask的精准对位贴装，防止基板与mask贴装过程中的刮擦损伤，且能够有效提高了生产质量和效率。