一种高效率曝光机

本实用新型涉及曝光机技术领域，提供一种高效率曝光机，其包括：基座；工作台，工作台安装于基座上并用于承载待曝光件；激光模块，用于发射光信号；DMD组件，用于接受光信号并经过处理再反射到镜头装置；镜头装置，用于对光信号进行投射；冷却液冷却组件，安装于DMD组件，并用于对DMD组件降温；本实用新型通过冷却液冷却组件安装于DMD组件，并与微镜芯片模块直接接触；再经冷却液控制组件控制冷却液冷却组件中冷却液的流速和/或温度，使微镜芯片模块温度不超过30度，通过使微镜芯片模块在冷却液直接作用的条件下快速降温，保证微镜芯片模块不会因温度过高损坏，同时温度的降低也能使DMD模块能够承受激光照射的功率为100W‑180W，使曝光效果更好。