一种晶圆及晶圆单元

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一种晶圆及晶圆单元
申请号:CN202422561385
申请日期:2024-10-22
公开号:CN223273276U
公开日期:2025-08-26
类型:实用新型专利
摘要
本申请公开了一种晶圆及晶圆单元,涉及晶圆技术领域。本申请包括半导体衬底,所述半导体衬底内设置有多个功能区,所述半导体衬底具有相对分布的第一面与第二面,所述第一面上设置有多个介质层,所述介质层内设置有线路区,所述半导体衬底上构造有多个凹槽,相邻两个所述介质层之间形成切割道,所述切割道与凹槽连通并形成切割槽,所述切割槽内设置有凸起部,通过凸起部将切割槽分隔为两个相对分布且均构造呈L形的隔离槽,所述隔离槽内填充有隔离介质。本申请在切割时,通过隔离槽内填充的隔离介质,可以防止裂纹扩散到功能区而导致功能区损坏,从而避免芯片损坏,因此更具有实用性。
技术关键词
半导体衬底 介质 绝缘胶层 粘性材料 晶圆 板材 凹槽 线路 覆膜 裂纹 锥形 芯片
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