自动化上下料装置

本申请涉及半导体加工设备技术领域，具体公开一种自动化上下料装置，包括第一驱动件和搬运机构。搬运机构包括舟组件、定位组件以及吸取组件，舟组件包括两个以上舟输送线，舟输送线沿第一方向间隔分布。定位组件包括两个以上定位输送线，定位输送线沿第一方向间隔分布。吸取组件包括吸盘组，吸盘组与第一驱动件连接。石英舟组件中两个以上舟输送线交替移动舟本体，定位组件中两个以上定位输送线交替移动花篮。自动化上下料装置通过舟组件、定位组件以及吸取组件的配合，可以实现在舟本体与花篮间搬运半片。舟组件中两个以上舟输送线交替移动舟本体，定位组件中两个以上定位输送线交替移动花篮，有助于减少吸取组件的停机时间，提高工作效率。