MEMS压力传感器

本实用新型提供了一种MEMS压力传感器，第一壳体的内部设有容纳腔，第一壳体上设有感应通道，感应通道与容纳腔导通，感应通道的侧壁上设有第一螺纹；芯体前端设有MEMS芯片，芯体的侧壁上设有第二螺纹，第一螺纹与第二螺纹相适配，芯体的局部螺接在感应通道内，电路单元设于容纳腔内，电路单元与MEMS芯片电连接，第二壳体与第一壳体固定连接，且第二壳体内设有信号输出机构，信号输出机构与电路单元电连接。本实用新型通过在感应通道的内壁上设置第一螺纹，在芯体的侧壁上设置与第一螺纹相适配的第二螺纹，并将芯体的局部螺接在感应通道内，一方面可以将芯体固定在第一壳体上，另一方面第一螺纹和第二螺纹的配合也可以使得芯体和感应通道之间密封。