一种微流控芯片表面改性辅助热压键合装置

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一种微流控芯片表面改性辅助热压键合装置
申请号:CN202422664657
申请日期:2024-11-01
公开号:CN223337356U
公开日期:2025-09-16
类型:实用新型专利
摘要
本实用新型公开一种微流控芯片表面改性辅助热压键合装置,包括:主体组件,主体组件包括设置的底板、固定在底板顶面的固定板、覆盖在固定板上的盖板;锁扣组件,锁扣组件包括固定在固定板表面的方形块、开设在方形块侧面的齿槽、与齿槽啮合的齿条、与齿条连接的竖板、固定在竖板侧壁的限位扣、与竖板连接的插销、套合在插销上的弹簧、开设在盖板侧端的限位孔、位于限位孔内的圆孔;放置组件包括设置在固定板顶面的压簧、连接在压簧顶面的托盘、设置在压簧底面的压力传感器。本实用新型通过设置的主体组件和锁扣组件的相互配合,达到在使用时,使热压键合压力得到精确的控制,减小温度和压力对于微通道的影响,提高键合装置使用的稳定性。
技术关键词
微流控芯片表面 热压键合装置 锁扣组件 改性 压力传感器 托盘 方形 齿条 长轴 底板 竖板 套筒 弹簧 间距 通道
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