一种三腔全自动传片芯片热处理设备

本实用新型属于晶圆热处理技术领域，且公开了一种三腔全自动传片芯片热处理设备，包括前柜和后柜，所述前柜的内部固定安装有机器转台，通过机械手的设置，提高了夹具的灵活性和适应性，直线模组带动机器转台移动，机器转台从中央平台下方穿过到达卡塞台位置，机械手开始工作，伸缩柱伸出，推动两个夹具和弹性板向晶圆靠近，夹具夹住晶圆后，伸缩柱回缩，将晶圆固定在机械手的夹具中，机器转台在直线模组的带动下移动到合适位置，将晶圆传送到后柜的腔室附近，在夹取头上设计自适应调节的缓冲结构，并在夹具与晶圆的接触位置设置耐高温的弹性材料，能够根据不同尺寸和形状的晶圆自动调整夹取方式，提高设备的灵活性和适应性。