静电探针系统和等离子体测试系统

本申请公开了一种静电探针系统和等离子体测试系统，其中静电探针系统包括：静电探针驱动模块和探测信号采集模块，其中，静电探针驱动模块包括驱动信号发生器、驱动信号调节电路和电源电路，驱动信号调节电路连接在驱动信号发生器的输出端；电源电路与驱动信号发生器通信连接且与驱动信号调节电路供电连接，在驱动信号发生器的控制下为驱动信号发生器和驱动信号调节电路供电，静电探针连接在驱动信号调节电路的输出端；探测信号采集模块包括信号采集电路、采集信号隔离电路和信号处理模块，其中，信号采集电路与静电探针连接，用于采集静电探针上的电信号；采集信号隔离电路，与信号采集电路的输出端连接，用于隔离传输电信号至信号处理模块。