一种三轴机械臂取板器

本实用新型提出一种三轴机械臂取板器，包括工作台，所述工作台的顶部螺栓固定有放置架，所述放置架的顶部通过螺栓固定有第一置物盘和第二置物盘，通过X轴滑架内部设置的电动推杆推动移动板在X轴滑架的内壁中滑动，同时带动Y轴滑架进行左右位置调整，实现对取版架的左右位置调节，然后控制升降单轴机械臂工作，推动取版架在Z轴滑架的外壁升降，实现对取版架的高度进行调节，当将取版架调节至合适的位置后，利用Y轴滑架内壁设置的电动推杆推动取版架进行前后移动，并将取版架伸入光罩盒中，将载版组件和卡块从光罩盒的内部取出，然后将掩模版放置于第二置物盘的垫块顶部，提高装置的实用性和便捷性，无需人工操作，提高了装置的工作效率以及减少了对掩膜版的污染。