摘要
本申请提供一种微流控芯片热压装置,包括:加热板,设置在装置最上端;下加热模块,设置在装置最下端,与加热板之间设有间隙,相互不接触;热压头,可拆卸的连接于加热板靠近下加热模块的一侧;下焊接头,可拆卸的连接于下加热模块靠近加热板的一侧。通过本实用新型的一种微流控芯片热压装置,解决了现有设备只能对单一型号的芯片进行热压键合、重复使用效率低、加工成本昂贵的问题,具有热压头可更换、可灵活组装、节约成本、重复使用效率高的优点。
技术关键词
微流控芯片
热压装置
加热模块
热压头
焊接头
导热材料
加热棒
温度传感器
导热硅脂
导热垫
凹槽
通孔
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接口
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