一种激光掺杂系统

本实用新型揭示了一种激光掺杂系统，包括通过第一传送单元相连接的印刷组件和激光分光掺杂组件以及多个支架，经过印刷组件完成印刷的硅基底经第一传送单元传输进入激光分光掺杂组件进行两次激光处理；采用一个激光器并进行分光处理，以获得至少两束不同波长的光线，通过两个激光发射装置导向第一工作位置和第二工作位置，硅基底在转运单元上实现工作位置的变化，依次进行两次激光处理。本实施例中提供的激光掺杂系统能够通过精确的定位、灵活的分光掺杂装置、高效的传输机制以及精确的分光控制，实现高效率、高质量的半导体生产，同时具备良好的扩展性和实用性。