一种微型气体传感器

本实用新型公开了一种微型气体传感器，涉及传感器技术领域，解决了现有技术中无法实现对激光器波长实时校准的问题。本实用新型包括壳体，所述壳体内设有温度控制组件，温度控制组件上设有激光器芯片；所述壳体内设有主路探测器芯片组件和参考探测器芯片组件，激光器芯片位于主路探测器芯片组件和参考探测器芯片组件之间或同侧；参考探测器芯片组件与激光器芯片之间设有参考气室，所述参考气室用于容纳一定浓度的标准目标气体。本实用新型利用微加工制造工艺将激光器芯片、主路探测器芯片组件、参考探测器芯片组件、参考气室耦合在一个壳体内部组成微型气体传感器，利用半导体激光器芯片照射结合参考气室及参考探测器芯片组件的谐波信息实现对波长的实时校准和气体浓度检测，体积小，工艺简单，利于规模化生产。