摘要
本发明公开了一种轮廓度检测装置包括检测台、运动平台、升降驱动器、信号放大模组、测臂组件等,通过表面特征判定模组生成特征值,控制模组匹配检测模式,杠杆比例调节机构和信号放大模组实现机械和光学双重放大,光电探测器采集光斑位移计算轮廓度。方法包括表面特征判定、检测模式匹配、机械杠杆调节、光学系统校准等步骤,结合机器学习和动态坐标系补偿,实现高精度自适应检测。该装置解决了传统检测装置精度不足和适用性差的问题,适用于精密机械加工等领域的轮廓度检测。
技术关键词
轮廓度检测装置
杠杆比例调节机构
光学模组
凹面镜
升降驱动器
运动平台
光电探测器
柔性支撑单元
特征值
测杆
激光发射器
坐标系
轮廓度检测方法
检测模组
控制模组
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检测台
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