一种触觉力传感器及机械臂

本实用新型涉及力传感器技术领域，公开一种触觉力传感器及机械臂，触觉力传感器包括至少一个触觉力传感检测单元，每个触觉力传感检测单元均包括：壳体，形成封闭腔室，封闭腔室内填充有可变形的填充物，壳体包括至少部分柔性且向外突出的接触部，接触部与接触物接触时能够变形；MEMS压力芯片，设置在壳体的内壁上且用于检测触觉力传感检测单元与接触物之间的压力。本实用新型公开的触觉力传感器，具有较好的抗温漂性能和线性度，此外，相同长度和宽度的MEMS压力芯片与应变片式力传感器相比，MEMS压力芯片的量程更大，适用于高精度和高稳定性的应用场景。