炉尾舟及等离子沉积炉

本实用新型涉及一种炉尾舟及等离子沉积炉，炉尾舟包括舟本体、舟柄和电极，舟本体，用于承载待镀膜工件；舟本体的两端均设置有舟柄，舟本体其中一端的舟柄上构造有插接口；电极插接于插接口。通过在舟柄上构造插接口，以便于将电极插接在插接口内从而实现电极与舟柄的连接。而在本申请中通过将电极设置成与舟柄插接的形式使得电极与舟柄的连接更加可靠，从而可防止电极脱落。通过插接的形式，使得电极与舟柄的接触面积更大，从而可有效降低两者之间接触的电流，从而避免电极打弧现象。如此，可有效提高电极使用寿命，从而降低备件消耗，降低生产成本；同时，还可降低射频次数，还可降低因射频导致的硅片表面的粉尘，从而提高产品质量。