摘要
本实用新型提供了一种芯片堆叠封装结构,其包括:基板、硅载板、HBM芯片和SOC芯片,基板一侧连接硅载板,硅载板上设有多个电气互连通孔,HBM芯片堆叠在硅载板的上方,SOC芯片设在HBM芯片的上方,SOC芯片和HBM芯片连接,HBM芯片通过电气互连通孔与基板实现连接;SOC芯片的背面朝上设置,在SOC芯片的背面设置液冷通道,液冷通道供冷却液通过,对SOC芯片进行散热。本实用新型将SOC芯片设置在HBM芯片上方,结构简单,也便于热量向上方传导,并通过SOC芯片背面的液冷通道进行快速、高效的散热,避免了SOC芯片过热的问题,提高了SOC芯片的可靠性和寿命。
技术关键词
芯片堆叠封装结构
SOC芯片
电气互连
冷却液
通道
基板
汇流
入口
通孔
散热片
寿命
环形
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