摘要
本实用新型涉及一种取晶棒装置,包括:支撑机构,其上用于设置晶棒;转动机构,其用于实现支撑机构的旋转;夹抱机构,其与转动机构连接,所述夹抱机构用于夹持支撑机构上的晶棒;升降机构,其设置在夹抱机构上,升降机构和支撑机构连接,且升降机构用于实现支撑机构竖直位置的调整。本实用新型通过支撑机构支撑晶棒呈竖直状态,通过夹抱机构对晶棒的中间位置实现夹持,从而将晶棒稳定固定在支撑机构上,能够避免晶棒掉落发生损毁。通过阻挡组件能够对夹持过程中的晶棒进行阻挡,防止晶棒倾倒,无需人工进行操作,提升降低人力成本和安全风险。夹取晶棒后,通过转动机构能够将晶棒在竖直和水平位置之间切换,从而在不同工位之间进行晶棒的转运。
技术关键词
夹臂
夹抱机构
取晶棒装置
支撑机构
支撑支架
升降机构
阻挡组件
铰接支座
减速机
升降驱动电机
支撑架体
直线导轨
挡杆
机器人本体
夹持支架
驱动组件
丝杆螺母
夹持晶棒
液压器
限位件
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图像采集装置
移动机构
支撑底座
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