外延膜缺陷确定

一种方法包括以下步骤：由处理设备获得包括外延膜的基板的第一图像数据。所述方法进一步包括以下步骤：向所述第一图像数据应用频域过滤器以获得经过滤的图像数据。所述方法进一步包括以下步骤：通过对所述经过滤的图像数据执行特征检测，确定所述第一图像数据中表示的外延缺陷的数量。所述方法进一步包括以下步骤：根据外延缺陷的所述数量执行校正动作。