摘要
拾取系统(100)具备:上顶部(34),其将粘贴于粘着片(6b)上的芯片(6a)隔着粘着片(6b)上顶;部件保持部(15),其具有有开口(14b)且升降自由的拾取吸嘴(14a),使用拾取吸嘴(14a)来非接触地保持芯片(6a);负压产生部(153),其在拾取吸嘴(14a)的开口(14b)周边产生负压;超声波产生部(152),其通过使拾取吸嘴(14a)振动来产生超声波;和控制部(101),控制部(101)在使超声波产生部(152)产生超声波之后,使上顶部(34)上顶芯片(6a),在产生超声波的状态下,使负压产生部(153)产生负压,从而使部件保持部(15)非接触地保持芯片(6a)。
技术关键词
拾取系统
超声波
拾取方法
开口周边
正压
接合装置
分类装置
回收箱
速度
芯片
空气
离子
微粒
波长
系统为您推荐了相关专利信息
封装方法
有机基板材料
散热柱
芯片精确对位
布线
稀土硅酸盐
闭环控制单元
耦合流化床
电场发生器
旋流喷嘴
表面肌电传感器
病人特征
儿童骨科
超声波收发模块
可佩戴设备
样品管理系统
智能标签
控制单元
人机交互模块
智能样品柜