拾取系统、接合装置、分类装置以及拾取方法

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推荐专利
拾取系统、接合装置、分类装置以及拾取方法
申请号:CN202480029365
申请日期:2024-07-10
公开号:CN121039798A
公开日期:2025-11-28
类型:发明专利
摘要
拾取系统(100)具备:上顶部(34),其将粘贴于粘着片(6b)上的芯片(6a)隔着粘着片(6b)上顶;部件保持部(15),其具有有开口(14b)且升降自由的拾取吸嘴(14a),使用拾取吸嘴(14a)来非接触地保持芯片(6a);负压产生部(153),其在拾取吸嘴(14a)的开口(14b)周边产生负压;超声波产生部(152),其通过使拾取吸嘴(14a)振动来产生超声波;和控制部(101),控制部(101)在使超声波产生部(152)产生超声波之后,使上顶部(34)上顶芯片(6a),在产生超声波的状态下,使负压产生部(153)产生负压,从而使部件保持部(15)非接触地保持芯片(6a)。
技术关键词
拾取系统 超声波 拾取方法 开口周边 正压 接合装置 分类装置 回收箱 速度 芯片 空气 离子 微粒 波长
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