离子注入机稳定性的监控方法以及故障检测与分类系统

本申请公开了离子注入机稳定性的监控方法以及故障检测与分类系统，该监控方法包括：在离子注入过程中获取离子注入机的关键参数在不同时刻的多个取值，所述关键参数为使离子注入机的引出电流稳定不变而动态调整的参数；利用与采用所述离子注入机进行离子注入的产品良率具有相关性的目标统计算法对所述多个取值进行统计，得到统计结果；根据所述统计结果确定所述离子注入机在所述离子注入过程中的稳定性。本申请实现了对离子注入机稳定性的实时且准确的监控。