一种MOS芯片蚀刻设备

本发明公开了一种MOS芯片蚀刻设备，涉及MOS芯片蚀刻技术领域，包括：蚀刻机主体两端分别开设有进出口,蚀刻机主体底端固定连接有静电吸附台,蚀刻机主体内壁顶端滑动连接有控制组件，喷淋头设有若干组且分别沿控制组件长度方向等距分布，喷淋头与控制组件固定连接，驱动器设置在蚀刻机主体侧端，驱动器滑动连接有导杆，所述导杆侧端固定连接有夹持组件；然后控制组件控制多个喷淋头喷射腐蚀液在MOS芯片上，从而实现了对多个MOS芯片针对性的进行蚀刻，保证每个MOS芯片都能得到充分的腐蚀液，从而实现了MOS芯片得到充分的蚀刻的效果，夹持组件通过驱动器和导杆可以将MOS芯片进行定位放置，从而实现了MOS芯片保持间隔放置的效果。