摘要
本发明涉及半导体激光器,具体涉及一种硅基混合集成外腔窄线宽激光器,用于解决现有窄线宽激光器技术存在的集成性差、稳定性不足、成本高等问题。该硅基混合集成外腔窄线宽激光器包括:半导体增益芯片、硅基光栅及锥形光纤。其中半导体增益芯片与光栅外腔入射端面耦合,光栅外腔出射端面与锥形光纤直接耦合。本发明利用光栅外腔,延长光子寿命,收窄输出线宽,具有输出线宽窄、输出功率高、工艺稳定性高、尺寸小、集成化等优点。
技术关键词
外腔窄线宽激光器
锥形光纤
光栅
模式场直径
出射端面
增透膜
芯片
反射率
高反射膜
半导体激光器
气相沉积法
模式匹配
光学系统
输出线
透镜
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