一种硅基混合集成外腔窄线宽激光器

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一种硅基混合集成外腔窄线宽激光器
申请号:CN202510007320
申请日期:2025-01-03
公开号:CN119419589A
公开日期:2025-02-11
类型:发明专利
摘要
本发明涉及半导体激光器,具体涉及一种硅基混合集成外腔窄线宽激光器,用于解决现有窄线宽激光器技术存在的集成性差、稳定性不足、成本高等问题。该硅基混合集成外腔窄线宽激光器包括:半导体增益芯片、硅基光栅及锥形光纤。其中半导体增益芯片与光栅外腔入射端面耦合,光栅外腔出射端面与锥形光纤直接耦合。本发明利用光栅外腔,延长光子寿命,收窄输出线宽,具有输出线宽窄、输出功率高、工艺稳定性高、尺寸小、集成化等优点。
技术关键词
外腔窄线宽激光器 锥形光纤 光栅 模式场直径 出射端面 增透膜 芯片 反射率 高反射膜 半导体激光器 气相沉积法 模式匹配 光学系统 输出线 透镜 波长
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