一种改进型阵列波导光栅光谱仪芯片

本发明公开了一种改进型阵列波导光栅光谱仪芯片。包括基片以及布置在基片上的输入波导、自由传播块波导和波导阵列，波导阵列主要由若干个输出波导间隔阵列排布构成；所述输入波导、自由传播块波导和输出波导沿光的传播方向依次布置；输入波导的输入端和输出端分别与光源、自由传播块波导的输入端耦合连接，自由传播块波导的输出端分别和若干个输出波导的输入端耦合连接，每个输出波导的输出端的输出光均照射在探测器平面上。本发明中的各个输出波导的输出光束存在的倾斜角度提高了各输出波导在探测器平面处衍射场间的重叠程度，使本发明在实现对输出光束聚焦功能以及色散功能的同时又增强了光谱的强度、分辨率和对比度。