一种三维阵列式磁触觉传感器及其制作方法

本发明涉及触觉传感技术领域，特别涉及一种三维阵列式磁触觉传感器及其制作方法。该三维阵列式磁触觉传感器包括由下至上依次叠置粘接的柔性电路板层、弹性层及柔性磁体层，其中柔性磁体层受到外界压力发生形变时改变周围的磁场强度，柔性电路板层通过感知柔性磁体层的磁场变化测量外力，弹性层用于拓展柔性电路板层的外力测量范围。柔性磁体层包括顶层柔性体及嵌设于顶层柔性体上的多个柔性磁体，柔性磁体用作触点。本发明模拟人手触觉感知，具备广泛的力测量范围，能够准确检测微小的力变化，提高了灵敏度。